國內首套應用於集成電路生產線的IC裝備機械手及矽片傳輸係統在遼寧產出

    日前，由沈陽新鬆機器人自動化股份有限公司承擔的國家科技重大專項“IC裝備機械手及矽片傳輸係統係列產品研發與產業化”項目在沈陽順利通過技術和財務驗收。項目開發的兩大類直驅型真空機械手產品、新型大氣機械手係列化產品、麵向光刻機矽片傳輸的單雙臂機械手產品和麵向刻蝕機、CVD（化學氣相沉積）、PVD（物理氣相沉積）和CMP（化學機械拋光）等整機設備配套的EFEM（設備前端模塊）係列化產品，可以廣泛應用在集成電路的多個領域，是我國在集成電路領域取得的一項重大研究成果，徹底打破了國外的技術封鎖。 

 

    該項目由沈陽新鬆機器人自動化股份有限公司聯合上海交通大學、哈爾濱工業大學等國內著名高校采取產學研合作方式，進行聯合攻關。通過攻克真空（超淨）環境下的大間隙直接驅動電機和控製、多軸同軸直接驅動與真空隔離、高真空與高潔淨環境下精密伺服控製、真空機械手新構型等共性關鍵技術，成功研製出了真空機械手產品、新型大氣機械手係列化產品、麵向光刻機矽片傳輸的單雙臂機械手產品以及EFEM係列化產品。並在北京北方微電子設備有限公司、沈陽芯源微電子設備有限公司等企業完成了示範應用，實現了IC裝備機械手及係統裝備的國產化。項目執行周期內，累計實現各類機械手、EFEM等設備銷售收入16042.27萬元。 

 

　該項目是我國在集成電路領域，在潔淨物料自動傳輸方向進行的一次嚐試和探索，項目研發的具有自主知識產權的IC裝備機械手及矽片傳輸係統不僅滿足了本國企業的迫切需求，同時打破了國外IC裝備企業在國內的壟斷地位，降低了晶圓製造企業生產成本，實現了半導體行業物料搬運和自動化裝載係統的國產化，進而推動了我國IC裝備產業的發展，並帶動整個裝備製造的產業鏈的發展，加速了我國裝備製造業向高端領域進軍。